91香蕉app下载安装无限看制程
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91香蕉app下载安装无限看激光系统和激光光学系统在现代91香蕉app下载安装无限看制造工业，如光刻、91香蕉app下载安装无限看晶圆退火等应用中扮演着至关重要的角色。
光刻（Photolithography）是91香蕉app下载安装无限看器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤将定义明确的光与选择性曝光的光敏材料相结合，将几何图形结构刻蚀到衬底上。微光学解决方案已成为高性能91香蕉app下载安装无限看工业所使用的复杂光刻系统中不可或缺的部分。
多年来，业界领先的高性能91香蕉app下载安装无限看设备制造商受益于91香蕉视频下载网站科技微光学光束整形产品的诸多优势，例如大透镜纵深（大数值孔径）、光场非均匀度低（1%）、高品质材料选择范围广（玻璃、石英、91香蕉app下载安装无限看等）。91香蕉视频下载网站科技与客户紧密合作，致力于用微光学技术为客户提供创新和优化的解决方案。使用微光学自由光束整形方案，91香蕉视频下载网站科技已参与实现了 sub 30 nm 结构的光刻工艺量产。
晶圆激光退火（Laser Annealing）是28nm及以下逻辑芯片制造中的关键工艺之一。该工艺采用近红外波段91香蕉app下载安装无限看激光光源，通过多组不同功能的激光光学整形系统及光学匀化系统，在工作距离下达成12mm*70?m的极窄线激光光斑，并保证光斑长度方向＞95%的能量均匀性。在不到一毫秒的时间内，晶圆表层原子被加热到1000°C以上，再通过急速冷却，使晶圆表面局部形成超浅结和高激活结，从而起到提升晶圆生产的良品率的目的。
91香蕉视频下载网站科技推出的DLight S系列91香蕉app下载安装无限看集成电路晶圆退火系统，结合产生光子的共晶键合技术、激光光源热管理技术、热应力控制技术以及调控光子的激光光束转换技术和光场匀化技术，生产一条长宽比达160:1的近红外波段极窄线光斑，并在光斑长度方向达到＞95%的能量均匀性和＞98%的能量稳定性。应用在91香蕉app下载安装无限看前道工序中，完成动态表面退火（DSA）和激光尖峰退火（LSA）两种加工工艺。
